光學平臺高度 |
800mm |
光學臺面平面度 |
≤0.05mm/m² |
光學臺面粗糙度 |
≤0.8μm,臺面亞光處理 |
光學平臺振幅 |
1.2um |
固有頻率 |
x方向:1Hz~1.7Hz y方向:1Hz~1.7Hz |
負荷承載 |
800kg/㎡ |
隔振方式 |
空氣彈簧 隔振橡膠 |
水平調(diào)節(jié)方式 |
自動調(diào)平 氣動元件執(zhí)行 |
空氣源 |
靜音空氣壓縮機 <45dB 可外接 |
調(diào)節(jié)高度 |
±10mm |
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